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潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內(nèi)部來(lái)自建筑材料釋出、設(shè)備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過(guò)程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設(shè)備維護(hù)修理時(shí)散發(fā)等，外部來(lái)自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

增強(qiáng)離子遷移譜氣體分析儀可提供達(dá)100 FWHM的分辨率，足以分辨異構(gòu)體成分。SIMS的一大優(yōu)勢(shì)是可以使用環(huán)境大氣作為緩沖氣，這一優(yōu)勢(shì)就把使用成本減低為零。 SIMS儀器的離子遷移譜技術(shù)通過(guò)電暈放電（CD）電離源提升了靈敏度。

AMC監(jiān)測(cè)快速監(jiān)測(cè)、報(bào)警、極低濃度測(cè)量、寬測(cè)量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。

智能離子遷移譜（SIMS）一大優(yōu)勢(shì)是可以使用環(huán)境大氣作為緩沖氣，這一優(yōu)勢(shì)就把使用成本減低為零。

實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氣態(tài)分子污染物AMC可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測(cè)污染物。另外，直接吸收式的檢測(cè)因其零背景的性質(zhì)，可保證長(zhǎng)期高穩(wěn)定性。DKG ONE-CF4可與其他檢測(cè)儀器，如顆粒物監(jiān)測(cè)儀等，整合在一個(gè)機(jī)柜里。