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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心其他設(shè)備AMC監(jiān)測(cè)阿瑞斯-µVOC半導(dǎo)體潔凈室氣體分析監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

半導(dǎo)體潔凈室氣體分析監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

半導(dǎo)體潔凈室氣體分析監(jiān)測(cè)系統(tǒng)通過污染物源頭控制、傳播控制,實(shí)時(shí)監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級(jí)過濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn),持久監(jiān)測(cè)AMC濃度,有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過濾器突發(fā)性壽命減少等。

產(chǎn)品型號(hào):阿瑞斯-µVOC
更新時(shí)間:2024-08-28
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
訪問量:2704
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品牌杜克泰克產(chǎn)地國(guó)產(chǎn)

半導(dǎo)體潔凈室氣體分析監(jiān)測(cè)系統(tǒng)介紹:

        醋酸、草酸 、胺類、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷(HMDS)、鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)、鄰苯二甲酸二丁酯(DBP)、鄰苯二甲酸二乙酯(DEP)、異丙醇、丙酮、硼酸*酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有機(jī)物

空氣分子污染物 (AMC) 對(duì)于高科技生產(chǎn)過程是關(guān)鍵性因素,特別是微電子行業(yè),有機(jī)污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素,會(huì)導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加。

        無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標(biāo),通過污染物源頭控制、傳播控制,實(shí)時(shí)監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級(jí)過濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn),持久監(jiān)測(cè)AMC濃度,有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過濾器突發(fā)性壽命減少等。


半導(dǎo)體潔凈室氣體分析監(jiān)測(cè)系統(tǒng)亮點(diǎn)

一般特點(diǎn)

在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測(cè)全部自動(dòng)化系統(tǒng)

低濃度VOC監(jiān)測(cè)

獨(dú)立分開測(cè)量有機(jī)物成份

Sub-ppb檢測(cè)限

集成計(jì)算機(jī)和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能。


工作原理

        GC氣相色譜是分離多種復(fù)雜混合物常用的技術(shù),這種技術(shù)依賴于揮發(fā)性有機(jī)混合氣體在色譜柱的多組份分離。

當(dāng)不同的揮發(fā)性有機(jī)物從色譜柱分離出來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測(cè)器探測(cè)電導(dǎo)率的變化,從而確定不同組份的濃度,*的吹掃和載氣系統(tǒng)可使儀器達(dá)到sub-ppb檢測(cè)限。












 

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