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半導(dǎo)體潔凈室氣體分析監(jiān)測系統(tǒng)通過污染物源頭控制、傳播控制，實時監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級過濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來實現(xiàn)，持久監(jiān)測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過濾器突發(fā)性壽命減少等。

煤自燃束管監(jiān)測特點：粉塵過濾器、單管、束管、分路箱、抽?泵、?體采樣控制柜、監(jiān)控微機、懸臂梁?克風(fēng)光聲光譜多?體分析儀、熱導(dǎo)多?體分析儀、打印輸出設(shè)備、網(wǎng)卡、系統(tǒng)軟件組成。

空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng)快速監(jiān)測、報警、極低濃度測量、寬測量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨、胺類、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸類等濃度測量，當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大光刻膠反生反應(yīng) 時，將深深的影響半導(dǎo)體器件質(zhì)量。

潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內(nèi)部來自建筑材料釋出、設(shè)備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設(shè)備維護修理時散發(fā)等，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

煤自燃束管監(jiān)測基于紅外光聲光譜技術(shù)，具有測量精度?、檢測限低、實時性好、原位在線、?效測量等優(yōu)點， 可作為煤自燃大樣實驗臺和小樣實驗臺監(jiān)測系統(tǒng)，也可為煤火災(zāi)害消防及火災(zāi)科學(xué)等多個方向的科學(xué)研究提供實驗條件和煤礦?產(chǎn)提?效率。